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桌面小型蒸鍍儀電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn),臺式設(shè)計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用
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相關(guān)文章品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
桌面小型蒸鍍儀
工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;
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原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學(xué)監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制;
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襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;
- 保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;
不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖
原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機(jī)械泵
115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘
真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色
桌面小型蒸鍍儀KT-Z1650CVD
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |