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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌面小型離子濺射儀

桌面小型離子濺射儀

產(chǎn)品簡介

桌面小型離子濺射儀本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜),儀器操作簡單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1111
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品牌鄭科探濺射氣體氬氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏
樣品倉尺寸160x170mm靶材尺寸φ50mm
價(jià)格區(qū)間面議產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

桌面小型離子濺射儀

離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí),交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔,之后試樣復(fù)原,再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。


離子濺射儀在掃描電鏡(SEM)的樣品噴金方便為專用的儀器,樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供,使恒沉積速率得到確保,使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少,使掃描電鏡觀測結(jié)果得到了較為顯著的提高。



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桌面小型離子濺射儀技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口







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