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產(chǎn)品中心

Product Center

當前位置:首頁產(chǎn)品中心實驗室氣體配比器質(zhì)量流量計KT-C4ZSCS200質(zhì)量流量計氣體配比器

CS200質(zhì)量流量計氣體配比器

產(chǎn)品簡介

CS200質(zhì)量流量計氣體配比器,CS200采用*傳感器和溫度補償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達到設(shè)定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品最快可在800ms以內(nèi)達到設(shè)定流量,響應(yīng)時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,所需流量更加精準。

產(chǎn)品型號:KT-C4ZS
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1152
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探價格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類其他介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

CS200質(zhì)量流量計氣體配比器 


CS200質(zhì)量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質(zhì)量流量控制器 高精度型,快響應(yīng)型 流量控制 流量檢測 國際兼容用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)

CS200氣體質(zhì)量流量控制器,采用*傳感器和溫度補償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達到設(shè)定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品最快可在800ms以內(nèi)達到設(shè)定流量,響應(yīng)時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,所需流量更加精準。

采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應(yīng)的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。

• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVVCS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達25RA

• CS200產(chǎn)品嚴格按照SEMI標準生產(chǎn)制造,尺寸符合國際通用的SEMI標準。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。

產(chǎn)品支持RS485DeviceNet通訊方式。

具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

技術(shù)參數(shù)

CS200

類型

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

流量規(guī)格(N2)

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(02,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓差范圍

0.050.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
  0.1
0.35MPa 10<流量規(guī)格≤30SLM
  0.2
0.45MPa 30<流量規(guī)格≤50SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規(guī)格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規(guī)格>10SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量規(guī)格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量規(guī)格>10SLM

0.02 MPa

最大工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點: ≤±0.05% F.S./;
 
調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./ 流量規(guī)格≤30SLM
 
調(diào)節(jié)時: ≤±0.2% F.S./ 流量規(guī)格>30SLM

零點: ≤±0.02% F.S./;
 
調(diào)節(jié)時: ≤±0.05% F.S./

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作環(huán)境溫度

545

050

輸入信號

數(shù)字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC (420)mA (020)mA

數(shù)字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

數(shù)字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模擬:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

輸出信號

數(shù)字::RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模擬:(05)VDC (420)mA (020)mA

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./

電源

±8 ±16 VDC (雙極) +14 +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

常態(tài)

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

常態(tài)

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6;雙卡套 1/4′′;雙卡套 3/8′′VCR1/4′′陽接頭;雙卡套φ3
 
雙卡套 1/8′′;VCO   1/4";φ6(內(nèi))x1 軟管接頭; φ5(內(nèi))x1.5 軟管接頭;
  φ4(
內(nèi))x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm;A 型密封接頭;

雙卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4VCR1/4 陽接頭;
  1.5′′C
型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭

電源接頭形式

D 9 針陽接頭;D 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

 


 


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